近幾年發展很快的是微電子機械光開關，它是半導體微細加工技術與微光學和微機械技術相結合，產生的一個新型微機-電-光一體化的的新型開關，是大容量交換光網絡開關發展的主流方向。

MEMS(Micro Electro-Mechanical System)光開關是在硅晶上刻出若干微小的鏡片,通過靜電力或電磁力的作用，使可以活動的微鏡產生升降、旋轉或移動，從而改變輸入光的傳播方向以實現光路通斷的功能。MEMS光開關較其他光開關具有明顯優勢：開關時間一般在ms數量級；使用了IC制造技術，體積小、集成度高；工作方式與光信號的格式、協議、波長、傳輸方向、偏振方向、調制方式均無關，可以處理任意波長的光信號；同時具備了機械式光開關的低插損、低串擾、低偏振敏感性、高消光比和波導開關的高開關速度、小體積、易于大規模集成的優點。

按功能實現方法，可將MEMS光開關分為光路遮擋型、移動光纖對接型和微鏡反射型。 微鏡反射型MEMS光開關方便集成和控制，易于組成光開關陣列，是MEMS光開關研究的重點，可分為二維MEMS光開關和三維MEMS光開關，并已提出一維MEMS光開關的概念。 所謂2D是指活動微鏡和光纖位于同一平面上，且活動微鏡在任一給定時刻要么處于開態，要么處于關態。在這種方式中，活動微鏡陣列與N根輸入光纖和M根輸出光纖相連。對一個N×N光開關矩陣而言!所需的活動微鏡數為N2。因此!這種方式也稱為N2結構方案

1、1×1光開關具有使光路通斷的功能，通常用于光路中阻斷光傳輸的作用.

2、1×2光開關具有保護倒換功能，通常用于網絡的故障恢復。當光纖斷裂或其他傳輸故障發生時，利用光開關實現信號迂回路由，從主路由切換到備用路由上。具體實例，如圖一所示：

圖一 1×2光開關保護倒換功能示例圖

3、2×2光開關是光開關系列中最常用的一種，廣泛應用于FDDI、光節點旁路、回路測試傳感系統等方面，還可以與其他類型的光開關組合起來使用，使開關系統更完善，更靈活。具體實例，如圖二所示(圖二是2×2光開關應用的典型例子，圖中光開關的2路和4路處于旁路狀態，即子環或者工作站不與主光纖環路接通，光開的關1路和3路是插入狀態, 即子環或者工作站與主光纖環路接通)。

圖二 2×2關開關在光網絡中的應用實例

2×2光開關的另一個用法是構建OADM設備核心。OADM是光網絡關鍵設備之一，通常用于城域網和骨干網。實現OADM光信號上下路的具體方式很多，但大多數情況下都應用了光開關，主要是2×2光開關，來實現對密集波分復用光網絡中光信號的上下路功能。由于光開關的使用，使OADM能動態配置業務，增強了OADM節點的靈活性，同時，使得OADM節點能支持保護倒換，當網絡出現故障時，節點將故障業務切換到備用路由中，增強了網絡的生存能力和網絡的保護和恢復能力。具體實例，如圖三所示：

圖三 2×2關開關在光網絡中的應用實例

1、網絡監視功能：當需要監視網絡時，只需在遠端監測點將多纖經光開關連接到網絡監視儀器上(如OTDR)，當光路需要監測時，利用光開關對每一條光纖進行循環切換，讓光源對每一條光纖進行測試，就可以實現網絡在線監測。光開關在光纜監測項目中主要起到的是跳測的作用，使用簡單的1×N光開關可以將多纖聯系起來。具體實例，如圖四所示：

圖四 1×N光開關在網絡監視系統中的使用

2、光器件的測試：可以將多個待測光器件通過光纖連接，通過1×N光開關，可以通過監測光開關的每個通道信號來測試器件。具體實例，如圖五所示：

圖五 1×N光開關在器件測試系統中的使用

3、構建OXC設備的交換核心：OXC主要應用于骨干網，對不同子網的業務進行匯聚和交換。因此，需要對不同端口的業務進行交換，同時，光開關的使用使OXC具有動態配置交換業務功能和支持保護倒換功能，在光層支持波長路由的配置和動態選路。由于OXC主要用于高速大容量密集波分復用光骨干網上，要求光開關具有透明性、高速、大容量和多粒度交換的特點。具體實例，如圖六所示：

圖六 M×N光開關在OXC中的使用